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安堉 快攻LED設備 優化製程 奪科技大獎
經濟日報每周日推出「隱形冠軍」系列報導,介紹台灣成功中小企業的發展故事,這些企業大家未必熟悉,但他們正在譜寫一頁傳奇,或許將有機會成為下一個在全球發光發亮的台積電。
安堉創新科技去年才從工研院分割獨立,產品專攻LED產業核心關鍵設備,也就是有機金屬化學氣相沉積(MOCVD)機台中的氣體噴灑模組(Showerhead),而且還搭配自行開發的軟體系統,協助客戶找到製程參數的最佳配方。對於安堉而言,不只希望產品滿足客戶需求,更希望後續獲得原廠青睞,在台灣與合作夥伴共同建立本土供應鏈。
安堉總經理傅振昌表示,目前產業界對於半導體上下游供應鏈的投資意願很高,但對於上游關鍵設備的投入與關注相對少。在LED生產線中,最重要的設備就是MOCVD,這攸關晶粒的品質,目前主要供應商只有美國、德國的兩家廠商,日本廠商的設備出口更受限制,陸廠近年則是在小尺寸腔體的MOCVD設備方面取得一些成果,台灣相關廠商較少。
傅振昌出身工研院機械所,研究精密機械系統相關題目已有七、八年。他提到,工研院重視基礎工業技術扎根與發展,鼓勵去做大家不敢做的事情,氣體噴灑模組對於MOCVD機台的產出表現很重要,當初評估後認為有能力去做,且MOCVD氣體噴灑頭等相關零組件通常都是由原廠的歐美供應商製作,因此選定MOCVD的氣體噴灑頭研究切入。
在MOCVD機台出貨時,氣體噴灑模組已經建置在內,傅振昌簡單解釋,家中浴室的蓮蓬頭通常拿來噴水,而MOCVD的噴灑頭則用來噴出氣體,是設備中重要的關鍵零組件。既有設備如果要噴灑兩種氣體,在基板上形成磊晶,0903071871陳r是採用雙管同時噴出的方式,但安堉的方案則是兩種氣體利用一個同心圓管,分內外圈來噴灑,混合效果較好,氣體沉積所形成的表面會更為均勻分布。噴灑頭的設計會影響表面的均勻度,進而影響最終產品的品質、亮度或光譜等。
傅振昌舉例,這就好比射箭時要兩箭同時命中靶心,別人的方案是由兩個選手分別但同時射向一個靶,比較容易有錯失。安堉是由同一個選手同時射出兩箭,而且兩支箭在射出去的瞬間就合為一體,命中靶心的機率因此高很多。
傅振昌等人在工研院多年的努力,逐步展現成果,其MOCVD氣體噴灑模組獲得2014年的國家發明獎,後續其CyperEpi可視化設計驗證軟體,更在2017年獲得素有「科技界奧斯卡獎」之稱的R&D 100獎。
傅振昌說,他在工研院工作多年,如果不創業,其實可以繼續做到退休,但如此一來,苦心鑽研的技術就無法發揚光大,團隊也沒有更大的舞台可以發揮,甚為可惜,這是促使其從工研院分割獨立安堉的推力。同時,R&D 100獎鼓勵將技術轉化為商品,在技術開發過程中也得到很多外界的回饋,認為這值得投入生產,這則是促成安堉的拉力。
除了氣體噴灑模組等硬體,傅振昌指出,磊晶廠生產晶片所需要設定的參數,包括溫度、壓力、流量與轉速等,高達上百組,要找出「最佳配方」相當不易,這就跟做麵包一樣,從麵團配方、發酵溫溼度到烤溫都得講究,要先找到關鍵參數。
為了找尋關鍵參數,工研院開發出「可視化磊晶製程優化系統」的軟體,傅振昌說,這就像醫院的核磁共振成像(MRI),可讓製程人員先「看」到MOCVD腔體內的熱流層與氣流層變化,在軟體上先充分了解哪些是最佳製程參數,協助磊晶製程人員縮短產品實機的開發時間。
技術開發成熟之後,也評估國內產業界對MOCVD磊晶設備的氣體噴灑模組優化有迫切需求,可以考慮量產,且還有後續下一世代產品可開發,成立公司自然是適合的選擇。傅振昌說,安堉從工研院取得多項技術專利,該公司董事長李聖文對於工研院的技術能力深深認同,因此挹注資金成立公司,希望因應產業所需,並帶動設備供應鏈加速發展。
眼見LED業界的MOCVD設備長期倚賴國外供應商,傅振昌認為,關鍵零組件掌握在國外廠商手上,不利於產品升級與創新研發,安堉是技術自主,透過軟硬體整合平台,可讓設備廠縮短前期開發下世代關鍵模組的時間與成本。
傅振昌說,安堉提供客製化模組,可供磊晶廠現有不同廠牌的MOCVD機台使用,並整合MOCVD在地化供應鏈,降低製造成本,也能協助磊晶廠升級活化舊機,不用花大錢買新設備。
傅振昌認為,現在是化合物半導體應用起飛的機會到來,如5G通訊、車用電子、光通訊、電源控制、紅外線、健康照護、巨量資料、自駕車、Micro LED、UVC LED等,MOCVD是製作前述應用相關磊晶產品的關鍵設備,安堉基於人工智慧與大數據技術的核心,搭配台灣的硬體強項,未來有機會抓住商機。
安堉關鍵零組件 打開市場
安堉的氣體噴灑模組(Showerhead)是創新的MOCVD關鍵零組件,安堉總經理傅振昌表示,目前國內尚無相同設計可導入產業應用,與目前原廠設備零組件相比,性能更好、更具經濟效益,可讓使用的氣體流量減少一成,降低相關成本,也提升磊晶均勻性一倍,在不更動原先設計下,安裝容易,並可延長模組壽命,保養時間可從半年延長為一年。
傅振昌提到,安堉的可視化磊晶製程優化系統,能協助磊晶廠找到最佳化製程參數,縮短產品研發周期,相較之下,MOCVD原廠所附的資料庫,並不具備如安堉提供的磊晶製程預測功能。磊晶製程人員經由安堉這套系統,獲得製程參數的時程可從原先一星期,縮短到2小時。
安堉上述產品已取得多件相關專利,並與工研院持續合作,在用噴灑頭證明技術實力之後,後續開發MOCVD加熱器等零組件。
傅振昌表示,國外MOCVD設備商起步較早,安堉在策略上聚焦於噴灑頭、加熱器、磊晶軟體的軟硬整合技術,目前還不做整機技術,但彈性提供廠商磊晶模組的客製化設計開發,讓客戶有更多內部製程參數掌握度,可確保技術留在自家磊晶廠內。
對於MOCVD氣體噴灑模組的業務擴展機會,傅振昌表示,主要客戶鎖定磊晶廠、原廠設備廠及通路商等,短期內希望努力打入國內磊晶廠供應鏈,中期則期望能通過原廠硬體模組認證,如果成功打入原廠供應鏈,將是首家達陣的台廠,0903071871陳r後續可進一步爭取參與成為新機台零組件供應商的機會。該公司明年也規劃與國外的終端業者進行Micro LED與UVC LED的產品應用交流。
至於可客製化的CyberEpi+AI軟體,安堉則希望擴展LED、無線通訊與太陽能等領域的客戶,並提供相關顧問服務。
公司簡介
2018年6月創立於新竹市,由一群工研院Spin-Off的磊晶專家所組成,專注於Showerhead裝置設計、模擬分析及可靠度等技術超過10年。
主力研發MOCVD軟硬體關件模組Showerhead關鍵零組件硬體及CyperEpi可視化設計驗證軟體,解決磊晶場缺乏MOCVD相關人才和庫存的問題。
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